Tornillería especial INDUSTRIA SEMICONDUCTORES

Tornillería Especial para Entornos de Vacío en la Industria de Semiconductores

Precisión, pureza y fiabilidad para procesos críticos
En la fabricación de semiconductores, incluso las más mínimas partículas o gases residuales pueden comprometer la calidad del producto final. Por ello, los entornos de vacío se han convertido en una parte fundamental de los procesos de producción. En este contexto, la elección de componentes mecánicos compatibles con vacío, especialmente la tornillería, es esencial.

¿Por qué es crítica la tornillería en vacío?
Los tornillos estándar, cuando se utilizan en cámaras de vacío, pueden liberar gases atrapados en sus cavidades internas o entre sus roscas. Este fenómeno, conocido como outgassing, introduce contaminantes que afectan tanto a la pureza del entorno como al rendimiento de los procesos litográficos, de grabado o deposición.

Tornillos ventilados NBK: diseño específico para vacío
NBK ha desarrollado una gama especializada de tornillos ventilados (vented screws), diseñados para facilitar la evacuación de gases y evitar la formación de cámaras de aire internas. Estos tornillos se caracterizan por:

• Agujeros de ventilación pasante: permiten que el aire atrapado escape durante la evacuación, reduciendo significativamente el outgassing.
• Materiales de baja emisión de gases: como acero inoxidable SUS316L, que presenta una excelente resistencia a la corrosión y un bajo contenido de impurezas.
• Tratamientos de limpieza y envasado en sala blanca: adecuados para su uso directo en entornos ultralimpios.

Beneficios para la industria de semiconductores

• Reducción del tiempo de evacuación de las cámaras de vacío.
• Menor riesgo de contaminación por partículas o gases residuales.
• Mayor fiabilidad en procesos de alto vacío y ultravuelo vacío (UHV).
• Compatibilidad con procesos críticos, como deposición por haces de electrones, grabado iónico reactivo (RIE) y litografía avanzada.

Aplicaciones típicas

• Equipos de litografía y deposición.
• Cámaras de vacío para análisis de materiales.
• Sistemas de transporte de obleas (wafers).
• Herramientas de inspección y metrología.

EJEMPLO DE CÁMARA DE VACÍO


Como fabricante líder en soluciones de fijación para entornos especiales, NBK garantiza la más alta calidad en diseño y fabricación. Su gama de tornillos ventilados representa una solución de confianza para los fabricantes de semiconductores más exigentes del mundo.

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