Vis spéciales pour environnements sous vide dans l’industrie des semi-conducteurs
Précision, pureté et fiabilité pour les procédés critiques
Dans la fabrication des semi-conducteurs, même des particules microscopiques ou des gaz résiduels peuvent compromettre le produit final. Les environnements sous vide sont donc essentiels, et chaque composant utilisé doit répondre à des exigences strictes en matière de performances et de propreté. Une attention particulière doit être portée aux éléments de fixation, notamment aux vis.
Pourquoi les vis sont-elles critiques dans les systèmes sous vide ?
Les vis standard peuvent emprisonner de l’air ou des gaz entre les filetages ou à l’intérieur de trous borgnes. Sous vide, ces gaz sont progressivement libérés par dégazage, contaminant la chambre et pouvant perturber des procédés critiques tels que la lithographie, la gravure ou le dépôt.
Vis ventilées NBK : spécialement conçues pour le vide
Les vis ventilées NBK sont conçues pour éviter la rétention de gaz et garantir un fonctionnement fiable dans les chambres sous vide. Leurs principales caractéristiques sont les suivantes :
- Conception avec trou de ventilation traversant : permet l’évacuation des gaz piégés et réduit le dégazage.
- Matériaux à faible dégazage : notamment l’acier inoxydable SUS316L, reconnu pour sa résistance à la corrosion et sa grande pureté.
- Lavage et emballage en salle blanche : garantissent que les vis sont prêtes à être utilisées dans des environnements ultra-propres.
Principaux avantages pour la fabrication de semi-conducteurs
- Réduction du temps de mise sous vide des chambres.
- Réduction du risque de contamination par des gaz résiduels ou des particules.
- Fonctionnement fiable sous vide poussé et ultra-vide (UHV).
- Compatibilité avec des procédés critiques tels que le dépôt par faisceau d’électrons, la gravure ionique réactive (RIE) et la lithographie avancée.
Applications typiques
- Équipements de lithographie et de dépôt.
- Chambres d’analyse sous vide.
- Systèmes de manipulation de wafers.
- Équipements de métrologie de précision.
EXEMPLE DE CHAMBRE SOUS VIDE
Équipement CVD plasma
En tant que fabricant reconnu de solutions de fixation pour environnements spéciaux, NBK garantit une qualité et des performances constantes. Sa gamme de vis ventilées constitue un élément clé pour les applications des principaux fabricants mondiaux de semi-conducteurs.